Порядок работы на микроинтерферометре МИИ-4

1. Включить лампу осветителя 2 (рис. 1) с помощью тумблера 12 на трансформаторе 11 и положить на столик прибора 1 объект исследуемой поверхностью вниз, причем, в поле зрения должна быть резкая граница раздела пленки. Повернуть рукоятку 8 так, чтобы стрелка на ней стояла вертикально.

2. С помощью микрометрического винта 4 сфокусировать микроинтерферометр на исследуемую поверхность. Поворотом рукоятки 8 включить правую часть интерференционной головки 14 (стрелка должна находиться в горизонтальном положении), при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы.

Рис.2. Изображение поля зрения в МИИ-4 и пример измерения отсчетов при n=2

3. С помощью микрометрического винта 4 добиться резкого изображения полос и исследуемой поверхности. Если при резкой фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные полосы получились не в центре поля зрения, то следует отвернуть контргайку 13 и, вращая винт 9, привести полосы в центр зрения. Затем проверить фокусировку на исследуемой поверхности и закрепить винт 9 контргайкой 13, Винтом 9 к контргайкой 13 разрешается пользоваться только в присутствии преподавателя или лаборанта. Для получения большей контрастности полос поворотом кольца 6 можно несколько уменьшить отверстие апертурой диафрагмы.

4. Вращением винта 10 вокруг оси установить необходимый для работы интервал между полосами. Поворотом винта 10 вокруг оси интерференционной головки установить интерференционные полосы перпендикулярно границе раздела пленки на доследуемой поверхности.

5. При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть одновременно видны исследуемая поверхность и интерференционные полосы; изогнутые в местах, где проходят канавки, царапины, неровности, граница плевки на подложке, причем, интерференционные полосы необходимо ориентировать перпендикулярно к направлению царапин или границы. Для пределения неровности необходимо измерить интервал между полосами N1 и N2, изгиб полос N3 и N4 и вычислить высоту неровности. Интервал между полосами определяется числом делений шкалы барабанчика окулярного микрометра 3 (MOB-1-15). На рис.2 показан вид узкой полоски зрения прибора в увеличенном масштабе я указано правильное расположение горизонтального штриха перекрестия винтового окулярного микрометра при измерении. Первый отсчет N1 производится по шкалам МОВ-1-15 при совмещении одной из нитей перекрестия подвижной сетки с серединой полосы. Затем совмещают эту же нить перекрестия о серединой следующей полосы (либо с серединой любой другой полосы в этом случае необходимо зафиксировать число интервалов n); таким образом, получают второй отсчет N2. Изгиб полос также выражают в делениях шкалы барабанчика MOB-1-15. Одну из нитей перекрестия сетки микрометра совмещают с серединой полосы и по шкале



MOB-1-15 отсчитывают значение изгиба. Затем нить перекрестия совмещают о серединой той же полосы в месте изгиба и получают второй отсчет N4.

При работе в белом свете искривление в одну интерференционную полосу соответствует высоте неровности на исследуемой поверхности, равной 0.27 мкм. Высота неровности Н (в мкм) вычисляется по формуле:

где N1 - первый отсчет при измерении интервала между полосами; N2 - второй отсчет при измерении интервала между полосами; N3 - первый отсчет при измерении величины изгиба полосы; N4 - второй отсчет при измерении величины изгиба полосы; n - число интервалов между полосами.


7738107171327324.html
7738166779283760.html
    PR.RU™